無油隔膜真空泵在使用過后，一般都是出現過濾材料臟了或者消音器臟了，這些“臟”問題都會使空氣流通不暢，并且會引起過熱和噪音過大，所以應定期檢查泵頭內的過濾材料。
如果有需要，用酒精清理氣室。禁止用有機化合物，酸類，腐蝕性的，易燃的溶劑清洗，禁止潤滑任何部位，否則會影響泵的使用壽命。
您可以將泵返回廠內進行維修，或者按照一下步驟進行安裝。每臺無油隔膜真空泵都包括了以下的部件：真空壓力表（-0.1Mpa）1塊，連接膠管1根，消音器一塊，說明書一份。具體步驟為：
1、斷開電源
警告：維修前一定要斷開電源，以免造成人員傷亡。
2、松開壓力閥，放出泵體內的氣體。
3、拔掉膠管
4、卸下壓力表，記住壓力表的安放位置，卸下四通閥。
5、擰下泵頭處的6個內六角螺絲，打開氣室，留存好螺絲。
6、氣室的反面的凹槽內有密封圈，如果密封圈已經破損，請丟棄；氣室內有過濾棉，如果臟了請丟棄。
7、氣室下方是圓形的膜腔（安裝有閥片），拔出膜腔。
8、檢查閥片（黑色橡膠的以及不銹鋼的）是否老化破損，如果破損了或者過臟，請進行更換或者清理。只需擰下螺絲即可。
9、膜腔下方為黑色的膜片，用小壓蓋固定住。擰開小壓蓋上的三個螺絲，留存好螺絲，取下壓蓋，肉眼觀察膜片是否破損，如有破損或者老化嚴重，請更換。
10、如果需要，用水系的溶劑清洗無油隔膜真空泵頭，或者用高壓氣體吹走臟物。
